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■飞秒激光助力超大体积和大截面高效率加工，短时间内实现样品内部缺陷精准定位切割和失效分析。 ■高性能离子束保证高精度微纳加工，最高分辨率<3 nm。 ■激光加工热损伤区域小，避免机械加工的应力损伤。 ■激光加工独立仓室，避免污染。
