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■高分辨率大样品三维成像，无 需破坏或制备样品。 ■三维重构实现任意角度虚拟截面定位和观察缺陷结构，提高失效分析成功率。 ■缺陷定位可用于后续FIB截面加工定位，缩短制样时间。 ■基于人工智能的重构算法提升4倍以上的失效分析效率。
